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    羅茨泵的抽速與極限壓力
    來源: 發(fā)布時間:2014-07-07 點擊:

    羅茨泵是一種容積泵,它的抽速和極限壓力,對各種氣體是不變的。對抽除分子量比氮氣低得氣體(He和H2)時,間隙泄漏量稍有增加就會引起抽速稍有下降。在入口壓力為1-0.1hPa范圍內(nèi)有最大抽速,在較高眼里和降低壓力時,由于返流作用較大些,故抽速在此兩者情況下稍微有些下降。

    羅茨泵抽氣腔內(nèi)是干燥無油的,故抽氣曲線對應(yīng)的壓力時全壓力。羅茨泵機(jī)組的極限全壓力與選擇的前級泵種類有關(guān)。一般為0.001hPa,它受前級泵泵油的蒸汽壓力,以及齒輪箱、軸承處潤滑油的蒸汽壓力的影響。羅茨泵上有油的空間要同前級真空側(cè)相連通,由齒輪和軸承負(fù)荷引起的油劣化物被前級泵抽除而對羅茨泵入口處無影響。在較高壓力下工作時,較高的壓力差會將油通過軸封處而進(jìn)入被抽空間去。為了避免這種現(xiàn)象發(fā)生,可將含油的空間另設(shè)小真空泵抽空,以保證泵腔內(nèi)的清潔。

    羅茨泵的潤滑油通常使用機(jī)械泵油或低蒸汽壓力的擴(kuò)散泵油。使用擴(kuò)散泵油在低負(fù)荷下市適當(dāng)?shù)摹?br />
    在液環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵時,羅茨泵的抽速和極限壓力,取決于液環(huán)泵使用的液體。水式通用的工作液體,水環(huán)泵的極限壓力為20-30hPa,它取決于供水的溫度。羅茨泵機(jī)組的極限壓力可達(dá)到1hPa,它是水環(huán)泵來的水蒸氣所決定的。若使用帶氣體噴射器的前級泵時羅茨泵機(jī)組的極限壓力為0.1hPa。因為氣體噴射器的運行,對水蒸氣的返流有個阻擋作用。一般來說,用一臺羅茨泵與單級前級泵組成為機(jī)組的情況較多,但要求有更低的艱險壓力和更高的抽速時,常用多臺羅茨泵串聯(lián)后再加前級泵組成機(jī)組。

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